半導体露光装置(ステッパー)のみを用いた可視光フレネルゾーンプレートの作製手法に関する論文が、Light: Science & Applications に掲載されました。JSR社との共同研究の成果です。
- Optical Fresnel zone plate flat lenses made entirely of colored photoresist through an i-line stepper
Ryohei Yamada, Hiroyuki Kishida, Tomohiro Takami, Itti Rittaporn, Mizuho Matoba, Haruyuki Sakurai & Kuniaki Konishi
Light: Science & Applications 14, 43 (2025)
研究の簡便な説明に関しては、こちらのプレスリリースをご覧ください。
