プレスリリース

• 2025年
• 2022年
• 2021年
• 2020年

2025年

• 2025-1-16 半導体露光プロセスのみで平面レンズを作製する手法を開発

2022年

• 2022-10-24次世代半導体製造向けの極微細穴あけ加工を実現 ―業種横断の協働拠点で先端半導体をけん引―”
• 2022-01-27”超短パルスレーザー加工技術で作製した蛾の目構造を世界で初めて電波望遠鏡に実装
  －宇宙マイクロ波観測装置の感度向上に貢献へ－”

2021年

• 2021-03-29”たった1つのレーザー加工穴から、数十万点の加工深さビッグデータを取得”

2020年

• 2020-07-21”格子状に並んだナノサイズの穴を持つ薄い膜が、らせんの光の波長を変える　～極短波長のそろった円偏光を簡単に作り出すことに成功～”