特許

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小西邦昭, 湯本潤司, 五神真, 石田誠, 赤井大輔
真空紫外光の発生方法及びそれに用いる装置
特願2019-150800 (出願日2019年8月21日)
特開2021-032966 (公開日2021年3月1日)
特許7385209 (登録日2023年11月14日)