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東京大学大学院 理学系研究科附属 フォトンサイエンス研究機構

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  • 2023-11-162023-11-17

Laser processing of silicon with GHz burst pumped third harmonics for precise microfabrication

Laser processing of silicon with GHz burst pumped third harmonics for precise microfabrication
Haruyuki Sakurai and Kuniaki Konishi
Optics Express 31, 40748 (2023)

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