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東京大学大学院 理学系研究科附属 フォトンサイエンス研究機構

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Laser processing of silicon with GHz burst pumped third harmonics for precise microfabrication

  • 2023-11-162023-11-17

Laser processing of silicon with GHz burst pumped third harmonics for precise microfabrication
Haruyuki Sakurai and Kuniaki Konishi
Optics Express 31, 40748 (2023)

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